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用于半導(dǎo)體和硅的紅外輻射溫度計(jì) IR-CAT 介紹
IR-CA系列是一款集成的固定式輻射溫度計(jì)，配備數(shù)字溫度顯示、參數(shù)設(shè)置功能和測(cè)量值的外部輸出。
共有低溫型、中高溫型、高性能型、超寬型等通用型以及按用途劃分的17個(gè)型號(hào)，兼容多種非接觸式測(cè)溫字段。
可測(cè)量400℃至1200℃硅片溫度的輻射溫度計(jì)。采用使晶圓不透明的測(cè)量波長(zhǎng)，減少加熱器對(duì)背面的影響
一體化結(jié)構(gòu)，內(nèi)置數(shù)字溫度顯示和參數(shù)設(shè)置功能，可通過主機(jī)操作
精度高、響應(yīng)快、可靠性高
可選配通訊接口 RS-485 (MODBUS)
提供設(shè)置顯示，用于 IR-CA 的遠(yuǎn)程監(jiān)控和遠(yuǎn)程設(shè)置。
可通過RS-485通訊進(jìn)行設(shè)置和顯示。
準(zhǔn)備數(shù)據(jù)記錄軟件
可選配保護(hù)殼、水冷板等配件，以適應(yīng)安裝環(huán)境。
| 模型 | 用于半導(dǎo)體/硅 |
|---|---|
| 格式 | 紅外貓 |
| 檢測(cè)元件 | 硅 |
| 測(cè)量波長(zhǎng) | 0.6～0.96μm |
| 測(cè)量溫度范圍 | 400-800℃ (100) 500-1000℃ (200) 600-1200℃ (200) |
| 準(zhǔn)確率評(píng)估 | 200℃以下：±2℃ 200℃以上：測(cè)量值的±1% |
| 再現(xiàn)性 | 0.5℃以內(nèi) |
| 解決 | 0.5℃ |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 0.04秒（95%） |
| 測(cè)量直徑/測(cè)量距離 | 可移動(dòng)焦點(diǎn) 測(cè)量距離：0.5m 至 ∞ 測(cè)量 直徑 = 測(cè)量距離/距離系數(shù) 距離系數(shù)：100、200 |
| 瞄準(zhǔn) | 直接取景器 |
| 輸出信號(hào) | 4~20mA DC，隔離輸出（無電阻500Ω以下） |
| 通訊接口 | RS-485（可選） |
| 電源 | 24V直流 |
| 能量消耗 | 最大10VA |
| 外形尺寸 | 寬150x高110x深66mm |
| 大量的 | 約1.3公斤 |
| 其他的 | 數(shù)據(jù)處理軟件：IR-VXC1 |
