用于調查附著異物和落塵的 “落塵計數(shù)器”介紹

發(fā)布時間：2024-02-01　點擊量：1896

用于調查附著異物和落塵的 “落塵計數(shù)器"介紹

一種特殊的測量裝置，可以測量落塵而不是浮塵。
對10μm以上的粗顆粒進行分類和計數(shù)。

如果您想減少產品上附著的異物量，則應使用落塵計數(shù)器而不是顆粒計數(shù)器進行測量。

原因是：

① 導致附著異物的粗顆粒較大，范圍為 10 μm 至 100 μm，無法用顆粒計數(shù)器測量。

② 大顆粒不會漂浮在空氣中，而是沉降并成為落塵。

上面提到了兩個。

此外，ISO14644-17自2021年2月起頒布，可以直接使用引起缺陷的粗顆粒作為管理指標。（點擊這里查看ISO14644-17中列出的PDR和PDRL之間的關系）

因此，通過測量落下的灰塵而不是空氣中微小的漂浮灰塵，可以管理附著的異物。

這是一種特殊的測量裝置，可以測量掉落的粗顆粒而不是漂浮的灰塵。

利用樣品收集板（4英寸硅片），利用粗顆粒的沉降特性，對下落的10μm以上的粗顆粒進行分級計數(shù)。

它可以在任何可以放置硅晶圓的地方進行評估。

*硅晶片：圓盤狀樣品板，是表面平整度和耐熱性優(yōu)異的半導體基板。

本機是專門利用硅片樣品對10μm至100μm粗顆粒進行分類和計數(shù)的測量設備。

對于頭發(fā)等100μm以上的異物，由于其形狀和重量，不適合使用硅片作為樣品。

建議使用“DUSCAR®100 BLACK"來調查較大的異物。

*3) 任意分類設定的閾值是從校準曲線中獲得的值，無法保證計數(shù)效率。

*4) 僅在 4 英寸區(qū)域內保證計數(shù)效率，對于 2 英寸區(qū)域無法保證計數(shù)效率，計數(shù)效率受到限制。

▼DTSP10-02	▼DTSP10-03

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