日本芝浦機(jī)電shibaura小型擴(kuò)散油真空泵

產(chǎn)品型號： ESV系列

所屬分類：泵

產(chǎn)品時間：2025-08-02

簡要描述：日本芝浦機(jī)電shibaura小型擴(kuò)散油真空泵 ESV系列
在該系列中，為了獲得從超高真空區(qū)域到高/中/真空區(qū)域的穩(wěn)定壓力，在超高真空下將環(huán)形加熱器用于ESV-6及以下，將內(nèi)部加熱型護(hù)套加熱器用于ESV-8及以上。它可以防止由于油的突然沸騰而引起的壓力波動。
ESV系列提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運行時間短，排氣量大和臨界背壓高的特點。而且，液壓油的量很小。

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詳細(xì)說明：

日本芝浦機(jī)電shibaura小型擴(kuò)散油真空泵 ESV系列

ESV系列的功能

在該系列中，為了獲得從超高真空區(qū)域到高/中/真空區(qū)域的穩(wěn)定壓力，在超高真空下將環(huán)形加熱器用于ESV-6及以下，將內(nèi)部加熱型護(hù)套加熱器用于ESV-8及以上。它可以防止由于油的突然沸騰而引起的壓力波動。
ESV系列提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運行時間短，排氣量大和臨界背壓高的特點。而且，液壓油的量很小。

使用例

各種真空爐
各種實驗的排氣裝置
管材制造設(shè)備
各種成膜設(shè)備
電子束焊接
電子顯微鏡

日本芝浦機(jī)電shibaura小型擴(kuò)散油真空泵 ESV系列

ESV系列陣容

模型		單位單位	ESV-3	ESV-4	ESV-6
大排氣速度		升/秒	380	580	1,200
達(dá)到壓力		帕	10 ^-6	10 ^-6	10 ^-6
工作壓力范圍		帕	10 ^-6至3.3 x 10 ^-1	10 ^-6至3.3 x 10 ^-1	10 ^-6至0.4
臨界背壓		帕	40	40	40
大排氣量		帕升/秒	93	190	260
用油			高腰F-4	高腰F-4	高腰F-4
油量		大號	0.12	0.18	0.3
墊片			拜頓	拜頓	拜頓
加熱器	格式		云母帶	云母帶	云母帶
	電壓，相	ACV，相	200、1	200、1	200、1
	格式	千瓦	0.55	0.75	1.2
進(jìn)氣口			VG80	VG100	VG150
輔助端口			VG25	VG25	VG50
冷卻方式			水冷	水冷	水冷
冷卻水量		L / min，在25℃時	1.1	1.5	2
輔助泵			DRP-360Ⅲ或RP-360Z	DRP-800或RP-800ZⅡ	DRP-800或RP-800ZⅡ
擋板格式			3C（雪佛龍）	4C（雪佛龍）	6C（雪佛龍）
帶擋板的排氣速度		升/秒	165	240	450
擋板冷卻水量		L / min，在25℃時	1.1	1.5	2
機(jī)油倒流		cm ³ / cm ²分鐘	10 ^-8	10 ^-8	10 ^-8
材料	圓筒		不銹	不銹	不銹
材料	噴射		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
大眾		公斤	8.5	11	20

模型		單位單位	ESV-8	ESV-10	ESV-12
大排氣速度		升/秒	2,000	3,000	4,500
達(dá)到壓力		帕	10 ^-6	10 ^-6	10 ^-6
工作壓力范圍		帕	10 ^-6至3.3 x 10 ^-1	10 ^-6至3.3 x 10 ^-1	10 ^-5至0.4
臨界背壓		帕	46	40	37
大排氣量		帕升/秒	400	460	800
用油			高腰F-4	高腰F-4	獅子A
油量		大號	0.6	1個	1個
墊片			拜頓	拜頓	氯丁橡膠
加熱器	格式		種子	種子	種子
	電壓，相	ACV，相	200、1	200、3	200、3
	格式	千瓦	1.6	2.5	3.2
進(jìn)氣口			VG200	VG250	VG300
輔助端口			VG50	VG50	VG80
冷卻方式			水冷	水冷	水冷
冷卻水量		L / min，在25℃時	2.5	五	6
輔助泵			DRP-1500或RP-1200ZⅡ	DRP-1500或RP-1200ZⅡ	RP-1200ZⅡ×2
擋板格式			8C（雪佛龍）	10C（雪佛龍）	12C（雪佛龍）
帶擋板的排氣速度		升/秒	800	1,200	1,800
擋板冷卻水量		L / min，在25℃時	2.5	五	6
機(jī)油倒流		cm ³ / cm ²分鐘	10 ^-8	10 ^-8	10 ^-7
材料	圓筒		不銹	不銹	鐵（鍍鎳）
材料	噴射		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
大眾		公斤	二十五	45	55

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日本芝浦機(jī)電shibaura小型擴(kuò)散油真空泵

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